Préparation d'échantillons pour la microscopie MET

Les méthodes conventionnelles consistent à amincir les échantillons jusqu’à quelques dizaines de nanomètres d’épaisseur. Pour y parvenir, la plateforme PLASSMAT est équipée de plusieurs polisseuses, scies (à fils diamantés et à disques), d’un microscope inversé (Olympus GX1), d’un ultramicrotome (Leica EM UC7), d’un cross section polisher (JEOL SM 09010) et d’un amincisseur ionique PIPS (Gatan Model 691).

Appareil de polissage par faisceau d’ions JEOL IB19520 : cet appareil apporte à l’observation par microscope électronique à balayage une contribution essentielle dès lors qu’il s’agit d’observer un échantillon dans la tranche. Il permet d’affiner la surface à observer de manière à ce qu’elle soit plane et sans relief même à fort grandissement ce qui révèle des détails inaccessibles par un autre moyen de préparation. Il peut opérer sur une grande variété d’échantillons grâce à sa platine refroidie par azote liquide (matériaux sensibles à l’échauffement produit par le bombardement ionique) et à son système de transfert à l’abri de l’air (matériaux sensibles à l’air comme ceux contenant du lithium par exemple). Le système de porte échantillon est compatible avec un transfert direct dans les deux microscopes JEOL (seulement dans l’IT 510 pour le transfert à l’abri de l’air).