Grâce au balayage d’une pointe en diamant sur l’échantillon, un profilomètre permet de mesurer le relief d’une surface.
Cet équipement permet notamment d’évaluer la rugosité de la surface (du nm au µm), de déterminer le rayon de courbure de la surface, de mesurer les variations de hauteur de la surface et de connaître l’épaisseur d’un dépôt (de quelques nm à 1 mm) de couches minces.
À l’Institut des Matériaux de Nantes Jean Rouxel, le profilométre est principalement utilisé pour vérifier et quantifier le dépôt de couches minces.
Pour avoir accès au profilomètre et connaître les tarifs, vous pouvez nous contacter par email :
Collaboration académique locale avec l’Institut d’Électronique et des Technologies du numéRique (IETR)
Scan sur 300 µm d’une marche de hauteur 86 nm :
Vue en 3D de la surface d’une cale de 924 nm :
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