Tout type d’échantillons allant sous vide (sauf matériaux radioactifs) : poudres, monocristaux, métaux, oxydes, polymères, etc.
Surface du porte échantillon standard de 32mm x 75mm permettant d’analyser de nombreux échantillons
Option : Gas Cluster Ion Source (GCIS). Taille des clusters d’Argon entre 1000 atomes et 3000 atomes. Energie par atome d’Argon entre 20eV et 1.6eV. Ce Canon à ion permet de retirer la pollution et de faire des profils en érosion.
Option : profil en érosion Argon mono atomique à 500 V et 4 kV
Support échantillon 4 points électriques avec chauffage de température ambiante à 400 ° C
Surface analysée en spectroscopie entre 700 microns x 300 microns et 15 microns x 15 microns
Source X Al mono chromatique 1486.7 Ev et Ag mono Chromatique 2984.2 eV
Résolution ultime sur conducteurs 0.26 eV et résolution ultime sur isolants 0.68 eV
Imagerie parallèle XPS permettant de faire des analyses semi quantitatives à chaque point de l’image
Source UPS He 1 et He 2
Possibilité d’analyser des échantillons sensibles à l’air grâce à des supports échantillons de transfert sous gaz neutre entre la boîte à gants et l’XPS
Boîte à gants basique connectée à l’XPS
Analyse angulaire pour caractériser les profils de concentration entre 1 et 10 n nanomètres
Option chauffage refroidissement +800°C -100°
Autre équipement de spectroscopie XPS
Kratos Nova
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