Accueil > Techniques et équipements > Microscopie MEB & FIB > Zeiss Leo 1450VP
Ce microscope à balayage est principalement utilisé pour les images et analyses de routine. La source d’électrons utilisée est un filament tungstène dans un cylindre de Wehnelt pour focaliser et contrôler le faisceau d’électrons.
Résolution | 3.5 nm à 30 kV à la distance de travail optimale |
Tension d’accélération | 0,2kV à 30 kV |
Courant de sonde | 10 pA à 1000 nA |
Grandissement | X9 à x 900 000 par rapport à une référence Polaroid |
Distance de travail | de 0,1 mm à 50 mm |
Dimensions de la chambre | 300 mm x 270 mm x 224 mm (H) |
Course platine (5 axes) | X/Y = 100/125 mm Z = 60 mm (35 mm motorisé) T = 0° à +90° rotation continue 360° |
Pression variable | 1Pa à 400 Pa |
Poids maximal échantillon | 500 g |
Le Leo 1450VP dispose de trois détecteurs pour imagerie :
Nom détecteur | SE1 | BSE | VPSE |
Type électrons | Secondaires | Rétro-diffusés | Secondaires |
Particularités | Approprié pour grandissement faible ; Non adapté pour faibles WD ; | Dispose d’un réglage de gain en complément de la brillance et du contraste ; Nécessite souvent un courant plus important et/ou une vitesse de balayage plus faible que les deux autres | Approprié pour échantillons isolants ou sensibles au vide ou hydratés |
Le Leo 1450VP dispose d’une sonde EDX (Energy Dispersive X-ray Spectrometer, ou Spectromètre de rayons X à dispersion d’énergie) présentant les caractéristiques suivantes :
Cristal Silicon Drift 80 mm² nominal en surface active ;
Fenêtre éléments légers SATW pour la détection des éléments du beryllium jusqu’à l’uranium.
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